Pols de disilicida de tungstè

Descripció de la pols de disilicida de tungstè

El siliciur de tungstè (WSi2) és un compost inorgànic, un siliciur de tungstè. És un material ceràmic elèctricament conductor.

En general, la pols de siliciur de tungstè està disponible immediatament en la majoria de volums. Es poden considerar formes de puresa ultra alta, alta puresa, submicrònica i nanopols.

El siliciur de tungstè s'utilitza en microelectrònica com a material de contacte, amb una resistivitat de 60–80 μΩ cm; es forma a 1000 graus. Sovint s'utilitza com a derivació sobre línies de polisilici per augmentar la seva conductivitat i augmentar la velocitat del senyal. Les capes de siliciur de tungstè es poden preparar per deposició química de vapor, per exemple utilitzant monosilà o diclorosilà amb hexafluorur de tungstè com a gasos font. La pel·lícula dipositada no és estequiomètrica i requereix un recuit per convertir-la en una forma estequiomètrica més conductora. El siliciur de tungstè és un substitut de les pel·lícules de tungstè anteriors. El siliciur de tungstè també s'utilitza com a capa de barrera entre el silici i altres metalls, per exemple, el tungstè.

El siliciur de tungstè també és valuós per al seu ús en sistemes microelectromecànics, on s'aplica principalment com a pel·lícules primes per a la fabricació de circuits a microescala. Amb aquests propòsits, les pel·lícules de siliciur de tungstè es poden gravar amb plasma utilitzant, per exemple, el gas trifluorur de nitrogen.

WSi2 funciona bé en aplicacions com a recobriments resistents a l'oxidació. En particular, a semblança amb el disilicid de molibdè, MoSi2, l'elevada emissivitat del disilicid de tungstè fa que aquest material sigui atractiu per al refredament radiatiu d'alta temperatura, amb implicacions en els escuts tèrmics.

Aplicacions de pols de disilicida de tungstè i indústries relacionades

● Material de contacte en microelectrònica

● Desviar sobre línies de polisilici per augmentar la seva conductivitat i augmentar la velocitat del senyal

● Deposició química de vapor

● Substitució de pel·lícules de tungstè anteriors

● Capa de barrera entre silici i altres metalls (p. ex. tungstè)

● Sistemes microelectromecànics

● Recobriments resistents a l'oxidació

● Pel·lícules gravades amb plasma

● Recerca i Laboratori

● Ciència dels materials

● Deposició de pel·lícula fina

● Revestiment

Identificadors químics

Propietats del disilicida de tungstè (teòriques)

Etiquetes populars: pols de disilicida de tungstè, Xina, proveïdors, compra, venda, fabricat a la Xina